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第193章分界岭（第1页）

一秒记住【xiaoyanwenxue.com】精彩无弹窗免费！赵龙腾看着赵岂年，呵呵一笑，并未说什么，而是站了起来，给自己泡了壶大红袍！

这玩意，赵龙腾金贵的很，从来不舍的给赵岂年喝！

“你小子真是神了，居然能用计算法推算出用水可以推进光刻机的进步！”

“虽然有点差异，但是我们成功了！”

赵岂年早就想好了的说辞，这一次终于派上用场了！

“这可不是我计算的，是我花高薪聘请了国外的数学家帮我计算的！”

“油浸法在光刻机领域一直都有使用，我就想到了水是不是也可以，他们都可以折射光！”

“然后，我就请人以油浸法的模型推算了水的可行性！”

“我最多就是想到了，灵光一现吧…”

赵龙腾笑了笑，没有发表看法，这个说法他实际上是接受的，不然真的解释不了！

光刻机从出现开始，到现在，光源被卡在193nm无法进步长达20年。

这就是著名的ArF准分子激光，包括近视眼手术在内的多种应用都应用这种激光！

到现在，相关激光发生器和光学镜片等都比较成熟。

就是到后来，市面上用的所有手机电脑主芯片仍旧是193nm光源光刻出来的。

光源卡住了，想让精度更高，只能从其他方面入手。

伴随着光源被卡主，光刻机的精度，其实也同样被卡住！

193纳米是一个分界岭！

全球高科技领域，甚至是米国政府，都插手这个事情，组成了联盟！

但是，尝试了很多方法，提出了很多解决方案，依旧没有成功！

最后，一切都败给了工程上最简单的解决办法，在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水。

水可以把193纳米的光波长折射成134纳米！

浸入式光刻成功翻越了157纳米大关，直接做到半周期65纳米！

加上后来不断改进的高NA镜头、多光罩、波段灵敏的光刻胶等技术，浸入式193纳米光源的光刻机一直做到后来的7纳米！

而按照原来的历史，2002年浸入式193纳米的方案才会被提出，随后ASML在一年之后才开发出样机！

而现在，还没到2002年！！

光刻机跨越193纳米，是无数次尝试的结果！

赵岂年的存在，让这个方案提前了两年！

同时，在赵岂年大量资金的推动下，国内的研究和开发要提前两年！！

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