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第33章 支线套环（第1页）

参加完五菱mini的发布会，路阳马不停蹄的赶到京城与专家组会和，镜片与镜头组的事不解决，下步工作无法展开。

国望光学，一家成立还不到4个月的企业，其背后是有长春光机所，算是目前国内唯一能光刻机曝光光学系统、高端镜头的企业了，与三巨头相比，算了，没有可比性。

ASmL的反射镜片是蔡司制造，号称整个地球上最光滑的物体，路阳记得网上曾经有句话，光滑程度可以代表一个文明的科技水平，三体的水滴，放大1000万倍仍然绝对光滑，其原理是强作用力，在地球不可能实现。

所以三体是二型文明？路阳忍不住吐槽，我只是想造光刻机而已，不想跟外星人接触。

现在有了镜片的制造工艺与技术文件，但是没人家的经验，也没对应的设备，而且你还得绕开专利，想想就头痛。

路阳现在的身份再次变成申城微电子工程师，廖锡昌的学生。

施阅博士说道：“EUV光刻机，最大镜面1.2m，表面粗糙度仅仅只有20pm（均方根），面精度（峰值与谷值的差值）也仅仅只有0.12nm[2]。（1pmu003d10^-12米）

如果把EUV光刻机镜片放大到地球那么大，那么它的表面粗糙度也仅仅0.2mm。

另外，我们都知道镜片的成分是硅，而硅原子的直径都有0.25nm，蔡司的这个精度可谓是已经接近物理极限。”

自己只是学生，听不懂很正常，路阳把自己变成透明人，拿着本子在一旁假装记录。

廖锡昌说道：“华科院目前能够达到的精度是0.1nm，而且这个还是实验室精度，是EUV光刻机镜片表面粗糙度的5倍。”

接着又介绍了超光滑表面加工工艺，主要有离子束抛光、磁流变抛光、抛光盘抛光、柔性介质抛光、浴法抛光、浮法抛光，等离子体辅助抛光，这些工艺都可以达到0.1nm的精度。

蔡司所用的是离子束抛光技术，在2015年提出了离子束抛光装置，后又于2017年申请了两项专利，进一步在晶体上设置非晶体材料，然后用电子束照射消除基底表面缺陷，使基底更加的平滑。

离子束抛光中的离子束溅射法能够沉积致密的薄膜，从而可以一层层地给EUV光刻机镜片镀上多层膜，目前先进的超光滑表面粗糙度为0.1nm左右，蔡司能做到0.02nm真的不服不行。

施阅说道：“现在别说是要绕开蔡司的专利问题，就算是使用他的技术我们也做不出来。”

路阳最烦这种消息的人，只会找借口，满满负能量。

廖锡昌看向专家组中的另一位光学方面的专家白学礼教授，今年56岁，来自长春光机所，

“老白，我想听听你的意见，我不想再听我们做不出来，要给方向。”

这话显然是针对施阅的，总是提不可能，你倒是想办法啊。

白学礼沉思片刻，“廖老，你也别怪施阅说话直接，以现在国望光学的实力，确实不现实，我们去长春光机所那边，我看了下蔡司的离子束抛光装置，那边的设备有可能改造得出来，暂时先不管专利的事，先做出来再说。”

路阳暗自点头，瞧瞧人家这态度。

“廖老，离子束抛光技术，华国最先进的并不在华科院。”说完白学礼竟然看了眼路阳。

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