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一连好些天,康硕都在忙着处理发布会的事情,发布会之后又立即去往魔都,带着沪都微电子集团的一众工程师处理光刻机系统的改造与调试,一刻也没有得闲。
光刻机系统改造的理论基础早在康硕第一次见梁振光总工程师的时候就已经提出了,后来设计的改造方案也已经通过了专家论证,不存在任何问题。
实施起来那自然也是得心应手,手到擒来。
……
“那好,后边的工作就交给你们,我就安心在江州等着你们的交货仪式了!”
这天,最后的调试全绿通过,整个计划最不受康硕自己控制的一个环节就此落地,他心里再也不需要担心光刻机掉链子的事情了。
沪都微电子装备集团的一众工程师那更是激动的两眼放光——多少年了,他们等的就是这一时刻——这家的光刻机终于达到世界二流的水准了!
是的,二流就是目标,至于顶尖,这个时期的他们想都没有想过,或者说是不根本敢想。
这些人当中,唯一比较平静的就是总工程师梁振光了,他的激动只在即将成功的时刻,现在整个人早已经平淡不惊。
这一代光刻机已经达到交货水准,梁振光的心思就已经完全不在这里了,在他心里,历史成就的作用不是为了称颂过去,而是为了鞭策未来。
这不,刚刚举行完欢庆仪式,他就过来找康硕了:“康先生,对于下一代EUV光刻机你有什么想法吗?沪都微电子可以合作!”
“不急。”康说摇了摇头:“那要看你们究竟会选择走怎样的路。”
“选择走怎样的路?”梁振光有些迷惑。
“对。是照着阿斯麦完全按照他们的理论走,一步一步的追过去,先走极紫外光刻的路子。”康硕接着说道:“还是从另一个角度出发,利用智能的机器视觉系统来对现有的光刻机做改进。
“这两种路线其实不矛盾,在EUV之后,为了寻求进一步的突破,阿斯麦也必然要走向改进和研究机器视觉系统的这条路,否则极紫外光之后怎们办?搞极极紫外光吗?这东西现在理论基础就不在。
“而我们,跟着别人走,那就会永远受别人的制约和限制。”
“嘶~”
梁振光是专业人士,康硕一说起这个,他就立即明白了:
极紫外光EUV光刻机别说不能做,就算技术上能做,阿斯麦在这条路上申请了多少专利,又有多少完全绕不过去,沪都微电子对此并不完全清楚。
走着走着说不定就会遇到一个坑,而一个坑可能就坑你几年都出过去。
“你是说,利用更智能的机器视觉系统来进一步提高光刻机的精度是阿斯麦的下一个方向?”梁振光两眼冒光。
“嗯。”康硕点了点头,现在的精密仪器肯定都离不开自动化的机器视觉系统,光刻机当然也有,但并没有太过于先进。
印象中,这个时候的阿斯麦还没有进行相关的研究——直到他们发现从硬件设备上下手再也办法提高精度的时候,才最终考虑的这一步。
“如果我们提前站住这个点,设下足够的壁垒,”康硕笃定道:“而且,利用这种技术,我们完全可以将DUV级别光刻机提高到EUV的水准。
“那么,一切的主动权都将回到我们的手中,无论是交叉授权还是维持竞争,我们都能立于不败之地。”
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