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画完图后,将硅片浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。
用专业的角度来说,
EBL光刻机与紫光光刻机有一些不同。
首先,在机器顶部的电子枪区域,场发射电子源开始工作。
在强大的电场作用下,尖锐的钨针尖端释放出高能电子束。
这些高速电子束就像一支训练有素的微观部队,整齐划一地向下加速。
随后,电子束进入复杂的电磁透镜系统。
多组精密的电磁线圈产生磁场,就像一个个无形的透镜,将电子束逐步聚焦成极细的光点。
这束光点的直径可以细到纳米级别,目前工艺制程是工艺制程14nm。
1毫米等于纳米(百万)。
而人类的一根头发丝的直径大约为0.04~0.05毫米,即4万到5万纳米。
在偏转系统中,精密的偏转线圈控制着电子束的运动轨迹。
通过计算机程序的精确控制,电子束能够在硅片表面进行精确定位和扫描,就像一支精确的纳米画笔。
在真空室底部,覆盖着光刻胶的硅片正静静等待着。
当高能电子束击中光刻胶表面时,发生剧烈的化学反应。
被电子束照射过的区域,光刻胶的分子结构发生改变,为后续的显影过程做好准备。
这就是EBL光刻机的曝光过程。
此时,
眼前这台造价昂贵的设备,正在以一种近乎完美的方式运转着,将公司芯片设计部门的设计图纸青龙8124转化为纳米级的实体结构。
它就像一位精确的画家,用电子为笔,在硅片上描绘出集成电路的蓝图。
随着加工的进行,实验室里回荡着设备运转的轻微嗡鸣声。
车载芯片青龙8124已经在计算机上验证与测试过了,郝强已经验收,完全没问题了。
如今,就差制造这一步。
以目前的运转情况来说,只能说是初步成功。
屏幕上也呈现了画图过程,但实际情况,那是肉眼看不到的,需要拿去测试。
EBL001最大产能为150WPH,即处理一个硅片,只需要24秒左右,效率非常高。
当然,设计图越复杂,耗费时间就越长。
理论来说,EBL光刻机的曝光速度很慢,但郝强的技术商店就解决了这个问题。
没过多久,
第一片硅片曝光完成,接着继续第二个硅片曝光,直到曝光十个硅片。
“把后续的显影、封装等工艺完成后进行测试,测试结果出来后跟我说一下。”郝强跟组长交代,“目前看来,我们只是初步成功了,理论上研制EBL光刻机这条路是行得通的。”
大家听到董事长的话,实验室内瞬间爆发出一阵热烈的掌声与欢呼,科研人员们相互击掌,脸上洋溢着无法掩饰的喜悦与兴奋。
当然,大家也知道,这只是初步成功而已,还不能高兴过早。
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