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“老板、任总,很惭愧。”何融明双手握拳说。
“没事,这不能怪你。我们都知道这件事的难度,需要时间,而留给我们的时间就是太少。”常乐拍拍何融明的肩膀。
“老何,科研本来就是充满着困难和挫折,有时产生自我否定、自我怀疑的情绪在所难免。”任总也安慰道:
“但是不能被这种情绪主导。只要能在逆境中不断前进,就一定能够成功。”
“何况,我们公司遭遇的直接打击,我们都不怕,你怕什么。”
说完,任总爽朗的笑了。
“老何,介绍一下进展情况吧。”常乐说。
“好,老板,任总,老梁,我们还是对asml的进度估计不足,认为他们还需要几年时间,没有想到今年就能量产,让我们很错愕。”何融明说。
“据说,北美官方调动了很多资源来支持asml。”梁青松说。
“不过,他们量产对我们来说也有积极的一面。目前,公司的凝聚力、供应商的向心力更强了。”何融明继续说:
“从arfi光刻研发成功之后,我们就一直在向EUV集中发力,一刻都不停歇……”
“也取得了一些成绩和进步。”
“比如,我们成功应用激光电浆技术获取了13.5纳米的EUV光源……”
“还有,国望光学的伙伴们也做出了接近物理理论极限的镜片,镜片约为几个原子的起伏度,离最终成功距离不远了。”
“此外,华卓精科更是领先其他供应商,成功研发出符合要求的双工件台,精度更是超出当前主流水准。”
常乐、任总听到这里,频频点头,等着何融明的下文。
“但是,随着研发的不断深入,我们遇到了一批又一批的问题,这些问题我们之前从未预见过。”何融明进一步说:
“目前遇到的最为棘手的问题主要还是有这么一些……”
“一是光源的功率问题。我们虽然成功获取了13.5纳米的EUV光源,但是光源非常弱,最佳状态只能输出10瓦功率,而量产必须250瓦功率以上。”
“听说asml几年前也遇到类似的问题,不知道他们怎么解决的?”
“二是镜片的解析度问题。国望光学的镜片解析度还达不到要求,有待进一步提高,他们也在努力攻克难点。”
“三是反光镜的雾化问题。EUV光源轰击液态锡滴后,会让锡滴气化沉积在镜片上,影响解析度和反射效果。”
“目前我们想到的方法是在镜片周围输入氢气,与液态锡产生反应,生产氢化锡,然后抽出来。”
“而这个方法,需要更高功率的EUV光源。”
“像诸如此类的问题很多、很多,我们已经解决了一批。”
“很棒,老何,你认为成功的概率有多高?”常乐问。
“概率?老板,不做就是0%,做就是100%,没有其他可能。”何融明态度很坚定。
“老何,很好的精神状态。”任总忍不住鼓起掌来。
“自古华山一条路,不成功便成仁,我就是这么跟员工鼓劲的。”何融明说。
“嗯,老何,资金有问题吗?”常乐又问。
“老板,资金很充足。现在最关键的问题不是资金,而是技术。”何融明无奈说道:
“供应商们也很着急,钱就摆在那,他们拿不出相应的技术和产品来换。”
“呵呵,那我就没办法了。”常乐双手一摊,笑道。
离开SmEE,梁青松、何融明送常乐、任总去机场。
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