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第377章 华芯光刻厂（第1页）

航天领域的复杂度某种程度上来说复杂度还超过半导体行业，路阳没想到在京城一待就是一个月。

王传斌的动作非常迅速，在总院支持下，两周时间就完成了星途探索的收购，途中也并未遇到什么困难，华国商业航天的这些企业大部分都属于亏损中，华芯加BYD不仅有资金，还有背景，全资收购成了顺理成章的事。

五人小组从一院回来后，立刻进入工作状态，新公司整合并不是简单的事情，原星途公司300多人再加上从总院支持200多个专家，星途探索规模达500人。

星途的核心研究方向主要是可重复使用火箭，这次路阳不再纠结，控制系统直接交给晓晓，材料与动力方面只需要把SPX的技术国产化即可，星途的主要工作就是在华国整合供应链。

至于空天飞机方面，晓晓目前正在全力推进亚燃冲压发动机到超燃冲压发动机模态切换设计，这项试验以星途的条件不可能完成，必须跟三院那边进行合作。

这个月还有一个好消息就是SSMB-EUV项目取得进展，唐教授团队那边通过一年多的时间完成了光刻厂的建设，首次流片28纳米芯片居然成功了。

这一消息给了路阳巨大的信心，第一时间来到位于怀柔的SSMB基地，厂区占地不到50亩，有一大半都是光源制造系统，利用微聚束原理，整个系统能产生从256纳米到13.5纳米的各类型光源。

整个项目的难度在如何把光刻系统变成流水线，而不是像光刻机那样封装到一台设备上，原计划这个项目至少要到2024年才能完成，让人意外的是有了晓晓的帮助后，把光刻机内部拆分到各个环节竟然没遇到多大的难题。

诸如整合拆分类的系统工程，这正是晓晓所擅长的，而且光刻厂的智能化达到前所未有的高度，整个光刻车间犹如巨大的光刻机般，无需任何人内部操作。

光刻需要在真空环境下进行，人类也无法在里面生存，这就逼着唐教授团长在整个生产线过程中使用了大量的机器人，从硅片打磨、运输、光刻、刻蚀、校验等过程都无需人为干预。

唐跃先见到路阳非常激动，“路总，您总算是来了！”

“唐总工，辛苦你们了，这是一项伟大的突破！”

项目总投资已经超过5000亿，唐跃先长期处于高度紧张状态，无论是国家还是企业，到最后都是要看成果的，何况现在华国的芯片产能并不低，团队中不是没有人觉得他们在浪费资源。

“路总，我带您先看看！”

跟光刻厂最大的不同就是整个园区人非常少，巨大的环形建筑犹如大型离子对撞机，从空中俯瞰就是一个圆圈加一条横线，圆圈部分是光源产生系统，而横线则是光刻厂。

来到车间内，从256纳米到3纳米，分出几十个小型车间，每个车间负责生产一种类型的芯片。

路阳看得瞠目结舌，从进入车间开始，似乎来到了未来世界，每个车间都有个巨大的玻璃窗口，内部隔为两个区域，真空区生产芯片，另一个较小的区域是控制室。

“从256纳米到制程直到1纳米，市面上所有级别的芯片类型我们都能生产，每个车间的产能相当于50台光刻机，理论生产速度上我们一个车间就超过了华芯晶圆厂。”

路阳与应若涵同时倒吸口凉气，这消息太过震撼，看到轨道及机器人不断的运送，也明白过来为什么能如此之快，一个方面是完全是完全智能化，无需人工介入，另一个方面是光源的制造是统一的。

唐跃先继续说道，“SSMB光源中心可以持续不断的生产各种类型光源，除了满足我的光刻需求外，还能对外输送，我们预留了其他的接口。”

应若涵问道，“唐教授，现在我们对光源利用率是多少？这个系统多久停一次？”

“应助理问到关键点了，为了保证这套系统的稳定性，我们花了近半年的时间才完成，理论上可以持续不断的运行一年，不过我们目前是3个月进行一次停机维护，这套系统在耗能上不足晶圆厂的五十分之一，光刻厂目前的光源利用率还不到十分之一。”

两人都停下了脚步，这太过科幻了，就是说目前的光刻厂还可以扩大十倍，如果把利用率提到100%，那不是相当于100个华芯晶圆厂？那产能无敌了啊？

来到中控大厅，更是眼前一亮，这完全跟科幻电影里的作战指挥中心一致啊，只不过屏幕上显示的是各个车间的监控数据。

屏幕前方是5排控制工位，几十名身着白色防护服的工作人员正在忙碌着。

进门处一条阶梯将5排工位切断，直达巨幕，中间处是一台类似游戏盒子的黑色机箱。

机箱上投射一道身影，这是晓晓为自己打造的虚拟形象，由无数蓝色线条勾勒出的少女。