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第438章 光刻机项目 另辟蹊径(第1页)

沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透,兴奋得睡不着。

喝了一杯茶,他想看看芯片制造技术的核心设备:光刻机。

目前市场上,有两种主流光刻机,一个是duv光刻机,另一个是euv光刻机。duv是深紫外线(deepultravioletlithography),euv是极深紫外线(extreultravioletlithography)。

从制程范围来看,duv基本上只能做到25nintel凭借双工作台的模式做到了10n但是却无法达到10n下。

只有euv能满足10n下的晶圆制造,并且还可以向5n3n续延伸。

这个线宽其实就是跟光的线宽有关系,比如可见光的g线,那就是436n如果用来刻蚀,线路肯定很宽。

可以简单地认为,光刻机的光系统其实就是一支画笔,不同的光代表不同粗细大小的笔芯,越细的笔(光)能够画越细越复杂的画。

duv就是彩笔,euv就是中性笔,中性笔画的线条比较细,比较好用。

这么理解,也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。

当前,国外品牌光刻机主要以荷蓝asml,岛国nikon和canon三大品牌为主。

euv的价格是1—3亿美金/台,duv的价格为2000万—5000万美金/台不等。

目前先进的光刻系统就是euv光刻机,如果沐阳打算走euv光刻机路线,必然绕不开别人的技术专利保护范围。

因此,他只能寻找另外光种的光刻机,同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。

就说分辨率,如果制作出来的电路图模糊不清,那芯片肯定不好。

光刻机其它的指标,也可以比喻成画笔的性能就行了。

并不是说,沐阳不能搞光刻机了,只是说,再搞duv和euv光刻机,绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。

所以,他只能另辟蹊径。

很久之前,沐阳就想到过电子束光刻机。

原本,再过几年,漂亮国的一个实验室研发出一套名为zyvexlitho1的光刻系统,基于stm扫描隧道显微镜,使用的是ebl(e-beaithography)电子束光刻方式,制造出了0.7n宽的芯片,只是没法实现批量生产,或者成本高过。

沐阳相信,如果是技术成熟的电子束光刻机,线宽比0.7n小。

他在系统商店普通货架上默念搜索「电子束光刻机」,很快,搜索出几款相关技术。

沐阳选择适合自己公司的一款技术:ebl01

技术参数:

1.最小线宽:小于1nbr>

2.加速电压:5—500kv

3.电子束直径:小于0.5nbr>

4.套刻精度:1nan+0.20)

5.拼接精度:1nan+0.20)

6.加工晶圆尺寸:4—18英寸

7.描电镜分辨率:小于0.2nbr>

主要特点:

1.采用超高亮度和超高稳定性的tfe电子枪;

2.出色的电子束偏转控制技术;

3.采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率可达0.0002n

4.采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0.002ad;

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